真空腔體的內壁表面吸附大量的氣體分子或其他有機物，成為影響真空度的放氣源。為實現高真空，要對腔體進行150～250℃的高溫烘烤，以促使材料表面和里面的氣體盡快放出。烘烤方式有在腔體外壁纏繞加熱帶、在腔體外壁固定鎧裝加熱絲或直接將腔體置于烘烤帳篷中。真空腔體比較經濟簡單的烘烤方法是使用加熱帶，加熱帶的外面再用鋁箔包裹，以免熱量散失的同時也可使腔體均勻受熱。