為了降低真空腔體的制作成本，采用鑄造鋁合金來制作腔體也逐漸普及。另外，采用鈦合金來制作不同用途真空腔體的例子也不少。

           為了減小腔體內壁的表面積，通常用噴砂或電解拋光的方式來獲得平坦的表面。高真空系統的腔體，較多的是利用電解拋光來進行表面處理。